Résonateurs à ondes acoustiques guidées ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Résonateurs à ondes acoustiques guidées sur miroir de Bragg pour communications radio-fréquences
Auteur(s) :
Koné, Issiaka [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Domingue, Frédéric [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Reinhardt, Alexandre [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Casset, Fabrice [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Aïd, Marc [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Carpentier, Jean-François [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubus, Bertrand [Auteur correspondant]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Domingue, Frédéric [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Reinhardt, Alexandre [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Casset, Fabrice [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Aïd, Marc [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Carpentier, Jean-François [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubus, Bertrand [Auteur correspondant]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :
Société Française d'Acoustique - SFA
Titre de la manifestation scientifique :
10ème Congrès Français d'Acoustique
Ville :
Lyon
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010-04-12
Titre de l’ouvrage :
10ème Congrès Français d'Acoustique
Date de publication :
2010
Mot(s)-clé(s) :
Résonateur piézoélectrique
Radio-fréquences
Ondes guidées
Radio-fréquences
Ondes guidées
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Résumé :
Les résonateurs à ondes acoustiques de volumes (appelés résonateurs BAW pour Bulk Acoustic Wave) sont des composants particulièrement attractifs pour les communications radio-fréquences (f > 1 GHz). Ils permettent de ...
Lire la suite >Les résonateurs à ondes acoustiques de volumes (appelés résonateurs BAW pour Bulk Acoustic Wave) sont des composants particulièrement attractifs pour les communications radio-fréquences (f > 1 GHz). Ils permettent de réaliser des filtres aux performances accrues et aux encombrements et coûts réduits, ou d'intégrer des oscillateurs de référence à faible consommation. Les résonateurs BAW classiques possèdent une fréquence de fonctionnement fixe déterminée principalement par l'épaisseur de la couche piézoélectrique. Cette contrainte est une limitation importante si l'on considère l'évolution actuelle des communications mobiles vers les circuits multi-standards et reconfigurables. Le travail présenté vise à développer un nouveau type de résonateur acoustique en technologie SMR (résonateur isolé du substrat par un miroir de Bragg), qui permette la co-intégration de résonateurs de fréquences différentes. Il repose sur l'utilisation de la résonance latérale d'ondes acoustiques guidées dont la fréquence est déterminée par une étape de gravure. Les principaux résultats présentés concernent la conception d'un miroir de Bragg assurant une isolation efficace de l'onde guidée vis à vis du substrat, la conception du peigne d'électrodes inter-digitées qui optimise le couplage de l'onde acoustique recherchée et minimise les modes parasites, et la technologie de fabrication mise en œuvre pour réaliser ces résonateurs sur substrat silicium. Les caractéristiques mesurées de ces résonateurs sont comparées aux résultats publiés pour des résonateurs à ondes de Lamb réalisés en technologie FBAR (résonateur sur membrane).Lire moins >
Lire la suite >Les résonateurs à ondes acoustiques de volumes (appelés résonateurs BAW pour Bulk Acoustic Wave) sont des composants particulièrement attractifs pour les communications radio-fréquences (f > 1 GHz). Ils permettent de réaliser des filtres aux performances accrues et aux encombrements et coûts réduits, ou d'intégrer des oscillateurs de référence à faible consommation. Les résonateurs BAW classiques possèdent une fréquence de fonctionnement fixe déterminée principalement par l'épaisseur de la couche piézoélectrique. Cette contrainte est une limitation importante si l'on considère l'évolution actuelle des communications mobiles vers les circuits multi-standards et reconfigurables. Le travail présenté vise à développer un nouveau type de résonateur acoustique en technologie SMR (résonateur isolé du substrat par un miroir de Bragg), qui permette la co-intégration de résonateurs de fréquences différentes. Il repose sur l'utilisation de la résonance latérale d'ondes acoustiques guidées dont la fréquence est déterminée par une étape de gravure. Les principaux résultats présentés concernent la conception d'un miroir de Bragg assurant une isolation efficace de l'onde guidée vis à vis du substrat, la conception du peigne d'électrodes inter-digitées qui optimise le couplage de l'onde acoustique recherchée et minimise les modes parasites, et la technologie de fabrication mise en œuvre pour réaliser ces résonateurs sur substrat silicium. Les caractéristiques mesurées de ces résonateurs sont comparées aux résultats publiés pour des résonateurs à ondes de Lamb réalisés en technologie FBAR (résonateur sur membrane).Lire moins >
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Nationale
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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