Procédé de fabrication de microcanaux sur ...
Document type :
Brevet
Title :
Procédé de fabrication de microcanaux sur un support, et support comprenant de tels microcanaux
Author(s) :
Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Country :
France
Publication date :
2010-08-27
Patent number :
FR2942465 (A1)
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Français
Comment :
n° de priorité : FR20090051200 20090225 ; également publié en tant que : WO2010097548 (A1) 2010-09-02 ; CA2752733 (A1) 2010-09-02 ; FR2942465 (B1) 2011-03-18 ; EP2401224 (A1) 2012-01-04 ; US2012043649 (A1) 2012-02-23 ; EP2401224 (B1) 2012-08-22
Source :