Title :

Procédé de fabrication de microcanaux sur un support, et support comprenant de tels microcanaux

Author(s) :

Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Country :

France

Publication date :

2010-08-27

Patent number :

FR2942465 (A1)

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20090051200 20090225 ; également publié en tant que : WO2010097548 (A1) 2010-09-02 ; CA2752733 (A1) 2010-09-02 ; FR2942465 (B1) 2011-03-18 ; EP2401224 (A1) 2012-01-04 ; US2012043649 (A1) 2012-02-23 ; EP2401224 (B1) 2012-08-22

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL