High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour mode disk resonators fabricated with silicon passive integration technology
Author(s) :
Sworowski, M. [Auteur]
Neuilly, F. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Summanwar, A. [Auteur]
Lallemand, F. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Neuilly, F. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Summanwar, A. [Auteur]
Lallemand, F. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009
City :
USA
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2009
Book title :
Proceedings of the 15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009
Publisher :
_
Publication date :
2009
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :