Low actuation voltage SPDT RF MEMS K band ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Low actuation voltage SPDT RF MEMS K band switch using a single gold membrane
Auteur(s) :
Robin, R. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Pays :
Italie
Date de début de la manifestation scientifique :
2009
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Éditeur :
_
Date de publication :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :