SU-8 photoresist and SU-8 based nanocomposites ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1088/1742-6596/195/1/012005
Title :
SU-8 photoresist and SU-8 based nanocomposites for broadband acoustical matching at 1 GHz
Author(s) :
Ndieguene, Assane [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S. [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Physics: Conference Series
Pages :
012005-1-8
Publisher :
IOP Science
Publication date :
2009
ISSN :
1742-6596
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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  • http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/195/1/012005/pdf
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