Integration and optimisation of PZT ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures
Author(s) :
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Troadec, david [Auteur]
Deresmes, D. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Liang, R. [Auteur]
Wang, Gang [Auteur]
Dong, X. [Auteur]
da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur]
Journal title :
Micro and Nanosystems
Pages :
214-225
Publisher :
Bentham Science Publishers
Publication date :
2009
ISSN :
1876-4029
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL