Title :

Raman characterization before and after rapid thermal annealing of CeO2 thin films grown by rf sputtering on (111) Si

Author(s) :

Guhel, Y. [Auteur]
Ta, M.T. [Auteur]
Bernard, J. [Auteur]
Boudart, B. [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publisher :

Wiley

Publication date :

2009

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

Submission date :

2021-07-27T18:50:16Z