Simulation and optimization of a totally ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1088/0960-1317/19/7/074017
Title :
Simulation and optimization of a totally free flexible RF MEMS switch
Author(s) :
Lorphelin, N. [Auteur]
Robin, R. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.S. [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Kanciurzewski, A. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
074017-1-9
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2009
ISSN :
0960-1317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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