Comparison of intrinsic residual stress ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Comparison of intrinsic residual stress models in metallic thin films
Auteur(s) :
Guisbiers, G. [Auteur]
Wautelet, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wautelet, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Scripta Materialia
Pagination :
419-422
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2009
ISSN :
1359-6462
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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