A simple method for measuring Si-Fin ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1109/TNANO.2009.2021064
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/50343
Titre :
A simple method for measuring Si-Fin sidewall roughness by AFM
Auteur(s) :
Tang, X.H. [Auteur]
Bayot, V. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Dubois, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nysten, B. [Auteur]
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Date de publication :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2021-07-27T19:00:35Z