Title :

An electrical evaluation method for the silicidation of silicon nanowires

Author(s) :

Tang, Xing [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Bayot, V. [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Yarekha, Dmitri [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lecestre, Aurélie [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Passi, V. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

023106-1-3

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2009

ISSN :

0003-6951

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL