Titre :

Capillary microchannel fabrication using plasma polymerized TMDS for fluidic MEMS technology

Auteur(s) :

Abbas, Abdennour [Auteur]
Procédés Biologiques, Génie Enzymatique et Microbien - EA1026 [ProBioGEM]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Mille, Vianney [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Procédés Biologiques, Génie Enzymatique et Microbien - EA1026 [ProBioGEM]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Laboratoire de Génie des Procédés d'Interactions Fluides Réactifs-Matériaux - EA 3571 [GéPIFRéM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Journal of Micromechanics and Microengineering

Pagination :

045022

Éditeur :

IOP Publishing

Date de publication :

2009-03-20

ISSN :

0960-1317

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Microchannel fabrication
plasma polymerization
ppTMDS
fluidic MEMS
Sacrificial layer
PPSL
PPMS
capillarity
tetramethyldisiloxane
thin films
microfabrication

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Plasmas
Sciences de l'ingénieur [physics]/Génie des procédés
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Chimie/Polymères

Résumé en anglais : [en]

This paper reports the first use of cold plasma deposition of polymerizable monomers for the fast, cost-effective and easy fabrication of buried air microchannels. A new method named ‘plasma polymerization on sacrificial ...
Lire la suite >This paper reports the first use of cold plasma deposition of polymerizable monomers for the fast, cost-effective and easy fabrication of buried air microchannels. A new method named ‘plasma polymerization on sacrificial layer' (PPSL) is presented. It consists in the direct polymerization of tetramethyldisiloxane (TMDS) on a photopatterned sacrificial layer. Channels are formed with only one lithographic mask and without any etching or bonding process. The use of polymerized TMDS allows a rapid creation of capillarity-driven flow systems with the channel width ranging from 4 to 700 μm without pillars. Channels are characterized and successfully tested. Capillary forces draw water, as well as aqueous solution into the channel from the inlet reservoir to the outlet one, avoiding the need of microfluidic connectors with the surrounding environment. Filling of the capillaries is very fast. It reaches the initial velocity of 4.4 cm s−1 with the geometries and water used here. In addition, PPSL easily allows the building of transparent channel networks directly on processed electrochemical or electromagnetic components. An example of one such integrated fluidic microelectromechanical system (MEMS) is described.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

8 pages

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL