Titre :

Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems

Auteur(s) :

Ayela, Cédric [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bergaud, Christian [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Pugnière, Martine [Auteur]
Institut de Recherche en Infectiologie de Montpellier [IRIM]
Nicu, Liviu [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]

Titre de la manifestation scientifique :

MRS fall meeting

Ville :

Boston

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2005-11-28

Titre de l’ouvrage :

MRS 2005 fall meeting

Date de publication :

2005-11-28

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL