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Preparation and characterization of thin ...
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Type de document :
Article dans une revue scientifique: Article original
DOI :
10.1016/j.electacta.2007.08.069
Titre :
Preparation and characterization of thin organosilicon films deposited on SPR chip
Auteur(s) :
Szunerits, Sabine [Auteur] refId
Laboratoire d'Electrochimie et de Physico-chimie des Matériaux et des Interfaces [LEPMI ]
Abou Rich, Sarni [Auteur]
Coffinier, Yannick [Auteur] refId
NanoBioInterfaces - IEMN [NBI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Languille, Marie-Angélique [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Boukherroub, Rabah [Auteur] refId
Institut de Recherche Interdisciplinaire [Villeneuve d'Ascq] [IRI]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Electrochimica Acta
Pagination :
pp. 3910-3915
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2008-04-20
ISSN :
0013-4686
Discipline(s) HAL :
Chimie/Matériaux
Résumé en anglais : [en]
The paper reports on the preparation and characterization of organosilicon thin polymer films deposited on glass slides coated with 5 nm adhesion layer of titanium and 50 nm of gold. The polymer was obtained by the ...
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The paper reports on the preparation and characterization of organosilicon thin polymer films deposited on glass slides coated with 5 nm adhesion layer of titanium and 50 nm of gold. The polymer was obtained by the decomposition of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane precursor (TMDSO) premixed with oxygen induced in a N<sub>2</sub> plasma afterglow using remote plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique. The film thickness was controlled by laser interferometry and was 9 nm. The chemical stability of the gold substrate coated with the organosilicon polymer film (p-TMDSO) was studied in different acidic and basic solutions (pH 1–14). While the gold/polymer interface showed a high stability in acidic media, the film was almost completely removed in basic solutions. The resulting surfaces were characterized using atomic force microscopy (AFM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), water contact angle measurements, cyclic voltammetry, and surface plasmon resonance (SPR).Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
Fichiers
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