Titre :

Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant

Auteur(s) :

Kaiser, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Galayko, D. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]

Date de publication :

2003-05-16

Numéro du brevet :

FR2832270 (A1)

Langue :

Français

Commentaire :

n° de priorité : FR20010014798 20011115 ; également publié en tant que : WO03043189 (A2) 2003-05-22 ; WO03043189 (A3) 2003-12-11 ; EP1444779 (A2) 2004-08-11 ; AU2002352338 (A1) 2003-05-26 ; JP2005510108 (A) 2005-04-14 ; FR2832270 (B1) 2006-07-28 ; US2009219113 (A1) 2009-09-03 ; US7893595 (B2) 2011-02-22 ; EP1444779 (B1) 2011-05-04 ; JP4351055 (B2) 2009-10-28

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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