Procédé de réalisation de structure de ...
Document type :
Brevet
Title :
Procédé de réalisation de structure de microsystème à entrefers latéraux et structure de microsystème correspondante
Author(s) :
Collard, D. [Auteur]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quevy, E. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Kaiser, Andreas [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quevy, E. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Publication date :
2003-11-28
Patent number :
FR2839964 (A1)
Language :
Français
Comment :
n° de priorité : FR20020006388 20020524 ; également publié en tant que : AU2003273133 (A1) 2003-12-12 ; WO03100969 (A1) 2003-12-04 ; EP1508198 (A1) 2005-02-23 ; FR2839964 (B1) 2005-09-09 ; JP2005534505 (A) 2005-11-17 ;
Source :