Procédé de réalisation d'un microrésonateur ...
Document type :
Brevet
Title :
Procédé de réalisation d'un microrésonateur piézoélectique accordable
Author(s) :
Robert, P. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]
Bouche, G. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]
Bouche, G. [Auteur]
Publication date :
2004-09-10
Patent number :
FR2852165 (A1)
Language :
Français
Comment :
n° de priorité : FR20030002817 20030306 ; également publié en tant que : US2004174091 (A1) 2004-09-09 ; EP1458095 (A2) 2004-09-15 ; EP1458095 (A3) 2004-09-22 ; EP1458095 (B1) 2006-10-04 ; US7179392 (B2) 2007-02-20
Source :