Title :

Procédé de réalisation d'un microrésonateur piézoélectique accordable

Author(s) :

Robert, P. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]
Bouche, G. [Auteur]

Publication date :

2004-09-10

Patent number :

FR2852165 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20030002817 20030306 ; également publié en tant que : US2004174091 (A1) 2004-09-09 ; EP1458095 (A2) 2004-09-15 ; EP1458095 (A3) 2004-09-22 ; EP1458095 (B1) 2006-10-04 ; US7179392 (B2) 2007-02-20

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL