Titre :

Procédé de polarisation d'un micro-circuit électromécanique à une valeur de charge électrique constante

Auteur(s) :

Kaiser, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Galayko, D. [Auteur]

Date de publication :

2004-12-03

Numéro du brevet :

FR2855681 (A1)

Langue :

Français

Commentaire :

n° de priorité : FR20030006341 20030526 ; également publié en tant que : WO2004107570 (A1) 2004-12-09

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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