Title :

Microrésonateur

Author(s) :

Abele, N. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Talbot, A. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bouche, G. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Monfray, S. [Auteur]
Casset, F. [Auteur]

Publication date :

2006-08-04

Patent number :

FR2881416 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20050050276 20050131 ; également publié en tant que : WO2006079765 (A1) 2006-08-03 ; EP1843970 (A1) 2007-10-17 ; FR2881416 (B1) 2007-06-01 ; US2009152998 (A1) 2009-06-18 ; US2010295416 (A1) 2010-11-25 ; US7858407 (B2) 2010-12-28 ; US8159109 (B2) 2012-04-17

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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