Title :

Microsystème électromécanique comprenant une poutre se déformant par flexion

Author(s) :

Casset, F. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
de Grave, A. [Auteur]
Abele, N. [Auteur]

Publication date :

2006-09-29

Patent number :

FR2883560 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20050002942 20050324 ; également publié en tant que : EP1705151 (A1) 2006-09-27 ; CN1837026 (A) 2006-09-27 ; JP2006263905 (A) 2006-10-05 ; US2007035200 (A1) 2007-02-15

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL