Title :

Système micro-électromécanique comprenant une partie déformable et un détecteur de contrainte

Author(s) :

Rowe, A. [Auteur]
Renner, C. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publication date :

2007-06-22

Patent number :

FR2894953 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20050012740 20051215 ; également publié en tant que : WO2007080259 (A1) 2007-07-19 ; EP1960307 (A1) (A0) 2008-08-27 ; FR2894953 (B1) 2008-03-07 ; JP2009519454 (A) 2009-05-14 ; US2009301176 (A1) 2009-12-10

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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