Metallic source/drain architecture : status ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Metallic source/drain architecture : status and prospects
Author(s) :
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Ostling, M. [Auteur]
Hellström, P.E. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Tang, Xing [Auteur]
Mantl, S. [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Ostling, M. [Auteur]
Hellström, P.E. [Auteur]
Reckinger, N. [Auteur]
Tang, Xing [Auteur]
Mantl, S. [Auteur]
Conference title :
SINANO-ESSDERC Workshop
City :
Munich
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2007
Book title :
_
Publication date :
2007
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :