Titre :

Stiffness controlled SU8-based nanocomposites : application for 1 GHz matching layer conception

Auteur(s) :

Wang, S.X. [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ndieguene, Assane [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Zhao, X.Z. [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

IEEE International Ultrasonics Symposium, 2008 IEEE IUS

Ville :

Beijing

Pays :

Chine

Date de début de la manifestation scientifique :

2008

Éditeur :

_

Date de publication :

2008

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Nanocomposites
Frequency
Resists
Zinc oxide
Acoustic transducers
Piezoelectric transducers
Nanobioscience
Biological materials
Acoustic materials
Silicon

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

The photoresist SU-8, often used in microtechnology, has been acoustically characterized at a frequency of 1 GHz thanks to thin-disk piezoelectric ZnO transducers. Acoustical characterization of SU-8-based nanocomposites ...
Lire la suite >The photoresist SU-8, often used in microtechnology, has been acoustically characterized at a frequency of 1 GHz thanks to thin-disk piezoelectric ZnO transducers. Acoustical characterization of SU-8-based nanocomposites made of SU-8 and nanosize TiO 2 and/or SrTiO 3 particles is presented. These nanocomposite materials would be used to achieve acoustical matching between silicon and water at a frequency of 1 GHz and of application for the integration of high frequency ultrasonic transducer in Lab-on-Chip for biological cell characterization.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL