A new four states high deflection low ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
A new four states high deflection low actuation voltage electrostatic MEMS switch for RF applications
Auteur(s) :
Robin, R. [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Touati, S. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2008
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Éditeur :
_
Date de publication :
2008
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T19:45:16Z