Comparative analysis for the local ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films
Auteur(s) :
Blach-Legrand, C. [Auteur]
Saitzek, Sebastien [Auteur]
da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Saitzek, Sebastien [Auteur]
da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Integrated Ferroelectrics
Pagination :
230-240
Éditeur :
Taylor & Francis
Date de publication :
2008
ISSN :
1058-4587
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :