Comparative analysis for the local ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.1080/10584580802096614
Titre :
Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films
Auteur(s) :
Blach-Legrand, Céline [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Saitzek, Sebastien [Auteur] refId
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Da Costa, Antonio [Auteur] refId
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Desfeux, Rachel [Auteur] refId
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Remiens, Denis [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Integrated Ferroelectrics
Pagination :
230-240
Éditeur :
Taylor & Francis
Date de publication :
2008
ISSN :
1058-4587
Discipline(s) HAL :
Chimie/Matériaux
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL