Titre :

Studies of some dopants : effect of Mn, Mg, F on (Ba, Sr) PZT films piezoelectric response for specific MEMS applications

Auteur(s) :

Nguyen, T.T. [Auteur]
Detalle, M. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lebrun, L. [Auteur]
Guyomar, D. [Auteur]

Titre de la revue :

Integrated Ferroelectrics

Pagination :

40-50

Éditeur :

Taylor & Francis

Date de publication :

2008

ISSN :

1058-4587

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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