Titre :

Etching characteristics and absence of electrical properties damage of PZT thin films etched before crystallization

Auteur(s) :

Liang, R.H. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Sama, N. [Auteur]
Dong, X.L. [Auteur]
Wang, G.S. [Auteur]

Titre de la revue :

MICROELECTRONIC ENGINEERING

Pagination :

670-674

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2008

ISSN :

0167-9317

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL