Diffusion mechanism of implanted be in GaAs

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1002/pssb.200743464
Title :
Diffusion mechanism of implanted be in GaAs
Author(s) :
Koumetz, S.D. [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, C. [Auteur]
Journal title :
physica status solidi (b)
Pages :
62-69
Publisher :
Wiley
Publication date :
2008
ISSN :
0370-1972
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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