Silicon nanotweezers with subnanometer ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1109/JMEMS.2008.922080
Title :
Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules
Author(s) :
Yamahata, C. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Takekawa, T. [Auteur]
Kumemura, M. [Auteur]
Hashiguchi, G. [Auteur]
Fujita, H. [Auteur]
Journal title :
Journal of Microelectromechanical Systems
Pages :
623-631
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2008
ISSN :
1057-7157
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL