ppTMDS as a new polymer technology for a ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1088/0960-1317/18/12/125026
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/51215
Title :
ppTMDS as a new polymer technology for a high throughput bio-MEMS design
Author(s) :
Mille, V. [Auteur]
Bourzgui, N.E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vivien, C. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Bocquet, B. [Auteur]
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T20:05:14Z
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