Intégration de matériaux piézoélectriques ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Intégration de matériaux piézoélectriques et électrostrictifs dans les dispositifs radio-fréquence à ondes acoustiques
Auteur(s) :
Volatier, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2007
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :