Measurement methods for the d(33) coefficient ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1080/00150190701354109
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/51388
Title :
Measurement methods for the d(33) coefficient of PZT thin films on silicon substrates : a comparison of double-beam laser interferometer (DBI) and single-beam laser vibrometer (LDV) techniques
Author(s) :
Pokorny, M. [Auteur]
Sulc, M. [Auteur]
Herdier, R. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dogheche, El Hadj [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Publisher :
Taylor & Francis: STM, Behavioural Science and Public Health Titles
Publication date :
2007
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T20:17:12Z