Electron-beam-induced reactivation of Si ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated and deuterated 2D AlGaAs heterostructures. Application to the fabrication of nanostructures
Author(s) :
Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Barbe, M. [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Chevalier, Jérome [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Constant, M. [Auteur]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Barbe, M. [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Chevalier, Jérome [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Constant, M. [Auteur]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Journal title :
Materials Research Society Symposia Proceedings
Pages :
275-281
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :