Titre :

Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated and deuterated 2D AlGaAs heterostructures. Application to the fabrication of nanostructures

Auteur(s) :

Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Barbe, M. [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Chevalier, Jérome [Auteur]
Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse [LPSC]
Constant, M. [Auteur]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]

Titre de la revue :

Materials Research Society Symposia Proceedings

Pagination :

275-281

Date de publication :

2002

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL