Titre :

Low Voltage Totally Free Flexible RF MEMS Switch With Anti-Stiction System

Auteur(s) :

Touati, Salim [Auteur]
Lorphelin, Nicolas [Auteur]
Kanciurzewski, Alexandre [Auteur]
Robin, Renaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rollier, A.-S. [Auteur]
Millet, Olivier [Auteur]
Segueni, Karim [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

DTIP 2008

Ville :

Nice

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2008-04

Titre de l’ouvrage :

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS

Éditeur :

EDA PUBLISHING Association

Date de publication :

2008-04

Discipline(s) HAL :

Informatique [cs]/Autre [cs.OH]

Résumé en anglais : [en]

This paper concerns a new design of RF MEMS switch combined with an innovative process which enable low actuation voltage (<5V) and avoid stiction. First, the structure described with principal design issues, the corresponding ...
Lire la suite >This paper concerns a new design of RF MEMS switch combined with an innovative process which enable low actuation voltage (<5V) and avoid stiction. First, the structure described with principal design issues, the corresponding anti-stiction system is presented and FEM simulations are done. Then, a short description of the process flow based on two non polymer sacrificial layers. Finally, RF measurements are presented and preliminary experimental protocol and results of anti-stiction validation is detailed. Resulting RF performances are -30dB of isolation and -0.45dB of insertion loss at 10 GHz.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Commentaire :

Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL