Piezoelectric properties of sputtered PZT ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution
Author(s) :
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Haccart, T. [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]

Soyer, Caroline [Auteur]

Haccart, T. [Auteur]
Conference title :
European Materials Research Society Spring Meeting, Symposium P, Advanced Materials for Microelectronics : Ferroelectrics and Low-k Dielectrics
Country :
France
Start date of the conference :
2002
Book title :
Materials Science in Semiconductor Processing, 5
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :