Titre :

Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution

Auteur(s) :

Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Haccart, T. [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

European Materials Research Society Spring Meeting, Symposium P, Advanced Materials for Microelectronics : Ferroelectrics and Low-k Dielectrics

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2002

Titre de l’ouvrage :

Materials Science in Semiconductor Processing, 5

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2002

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL