Titre :

Electrical and optical characterizations by prism-coupling method of PZT deposited in-situ by sputtering

Auteur(s) :

Dogheche, El Hadj [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Velu, G. [Auteur]

Titre de la revue :

Vacuum

Pagination :

1-8

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2002

ISSN :

0042-207X

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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