MEMS electromechanical resonators for RF ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
MEMS electromechanical resonators for RF applications
Auteur(s) :
Casset, F. [Auteur]
Durand, C. [Auteur]
Abele, N. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ionescu, A.M. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006
Ville :
Besançon
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL