Optimisation d'une technique 3D pour la ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Optimisation d'une technique 3D pour la réalisation de circuits intégrés millimétriques sur substrat de silicium
Auteur(s) :
Six, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2004
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :