Title :

Electron induced dissociation of SiH complexes in hydrogenated Si doped GaAs. Application to the fabrication of microstructures

Author(s) :

Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Bernard-Loridant, D. [Auteur]
Constant, M. [Auteur]
Chevallier, Jacques [Auteur]

Journal title :

Superlattices and Microstructures

Pages :

431-435

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2000

ISSN :

0749-6036

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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