Titre :

Calibration of a two-dimensional numerical model for the optimization of LOCOS type isolations by response surface methodology

Auteur(s) :

Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoffmann, T. [Auteur]
Tixier, A. [Auteur]

Titre de la revue :

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

Pagination :

416-426

Éditeur :

Institute of Electrical and Electronics Engineers

Date de publication :

2000

ISSN :

0894-6507

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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