Title :

Giant magnetostriction thin films for multi-cantilever micro-structures driving

Author(s) :

Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gall, Henri Le [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Youssef, Jamal Ben [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Sensors and Actuators A: Physical

Pages :

162-165

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2000

ISSN :

0924-4247

English keyword(s) :

Bimorph microcantilever
GaInAs structure
TbFe composition
Elastic resonance
Coercive force

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

English abstract : [en]

First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were ...
Show more >First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were studied by dynamic excitation methods. A resonance of the bimorph cantilevers was observed at an excitation frequency of 0.8 MHz with a Q-factor of about 103. The coercive force of the magnetic films sputtered on micro-cantilevers was found to be Hc=8 Oe.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL