Giant magnetostriction thin films for ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Giant magnetostriction thin films for multi-cantilever micro-structures driving
Author(s) :
Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gall, Henri Le [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Youssef, Jamal Ben [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gall, Henri Le [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Youssef, Jamal Ben [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Sensors and Actuators A: Physical
Pages :
162-165
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2000
ISSN :
0924-4247
English keyword(s) :
Bimorph microcantilever
GaInAs structure
TbFe composition
Elastic resonance
Coercive force
GaInAs structure
TbFe composition
Elastic resonance
Coercive force
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were ...
Show more >First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were studied by dynamic excitation methods. A resonance of the bimorph cantilevers was observed at an excitation frequency of 0.8 MHz with a Q-factor of about 103. The coercive force of the magnetic films sputtered on micro-cantilevers was found to be Hc=8 Oe.Show less >
Show more >First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were studied by dynamic excitation methods. A resonance of the bimorph cantilevers was observed at an excitation frequency of 0.8 MHz with a Q-factor of about 103. The coercive force of the magnetic films sputtered on micro-cantilevers was found to be Hc=8 Oe.Show less >
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
- fulltext.pdf
- Open access
- Access the document