Giant magnetostriction thin films for ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Giant magnetostriction thin films for multi-cantilever micro-structures driving
Auteur(s) :
Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gall, Henri Le [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Youssef, Jamal Ben [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gall, Henri Le [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Youssef, Jamal Ben [Auteur]
Laboratoire de magnétisme de Bretagne [LMB]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Sensors and Actuators A: Physical
Pagination :
162-165
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2000
ISSN :
0924-4247
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Bimorph microcantilever
GaInAs structure
TbFe composition
Elastic resonance
Coercive force
GaInAs structure
TbFe composition
Elastic resonance
Coercive force
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were ...
Lire la suite >First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were studied by dynamic excitation methods. A resonance of the bimorph cantilevers was observed at an excitation frequency of 0.8 MHz with a Q-factor of about 103. The coercive force of the magnetic films sputtered on micro-cantilevers was found to be Hc=8 Oe.Lire moins >
Lire la suite >First results on the realisation of a micrometer GaInAs multi-cantilever structure (50×30×1 μm3 each) driven by amorphous TbFe magnetostrictive thin films are presented. Magneto-elastic properties of the cantilevers were studied by dynamic excitation methods. A resonance of the bimorph cantilevers was observed at an excitation frequency of 0.8 MHz with a Q-factor of about 103. The coercive force of the magnetic films sputtered on micro-cantilevers was found to be Hc=8 Oe.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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