ECR-silicon nitride passivation of III-V ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
ECR-silicon nitride passivation of III-V transistors
Author(s) :
Shapoval, S. [Auteur]
Gurtovoi, V. [Auteur]
Kovalchuk, A. [Auteur]
Gaquière, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
XXV Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE 2001
City :
Cagliari, Sardinia
Country :
Italie
Start date of the conference :
2001
Publication date :
2001
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL