ECR-silicon nitride passivation of III-V ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
ECR-silicon nitride passivation of III-V transistors
Auteur(s) :
Shapoval, S. [Auteur]
Gurtovoi, V. [Auteur]
Kovalchuk, A. [Auteur]
Gaquière, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
XXV Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE 2001
Ville :
Cagliari, Sardinia
Pays :
Italie
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Date de publication :
2001
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL