La modélisation et la simulation numérique ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
La modélisation et la simulation numérique de procédés de fabrication sur silicium : contributions et réflexions
Author(s) :
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2001
Language :
Français
Source :