Electrostatic impact-drive microactuator

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electrostatic impact-drive microactuator
Author(s) :
Mita, Y.Y. [Auteur]
Arai, M. [Auteur]
Tenseka, S. [Auteur]
Kobayashi, D. [Auteur]
Basset, Philippe [Auteur]
Kaiser, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Masquelier, P. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Fujita, H. [Auteur]
Start date of the conference :
2001
Book title :
Proceedings of the 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2001
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2001
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL