Isolation de transistors dans la filière ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon
Author(s) :
Guhel, Y. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pesant, J.C. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur] refId
Boudart, B. [Auteur]
Dhamelincourt, P. [Auteur]
Poisson, M.A. [Auteur]
Conference title :
9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002
City :
Saint Aigulf
Country :
France
Start date of the conference :
2002
Publication date :
2002
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL