A modified bosch-type process for precise ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
A modified bosch-type process for precise surface micromachining of polysilicon
Auteur(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Parvais, B. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Parvais, B. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pagination :
328-333
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2002
ISSN :
0960-1317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :