Elaboration et caractérisation de technologies ...

Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Elaboration et caractérisation de technologies microsystèmes avancées : structures d'actionnement tridimensionnelles et résonateurs électromécaniques à entrefer latéral nanométrique
Author(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2002
Language :
Français
Collections :
Source :
Harvested from HAL